Abstract
Diese Europäische Norm legt Verfahren zur Analyse der chemischen Zusammensetzung keramischer Schichten mittels Elektronenstrahl-Mikrobereichs-Analyse (ESMA) unter Verwendung eines Rasterelektronen-mikroskopes (REM) oder einer Elektronenstrahlmikrosonde fest.
Die festgelegten Verfahren sind anwendbar auf die Untersuchung von Monolagenschichten, wenn die Analyse senkrecht zur Oberfläche der Probe durchgeführt wird, gelten jedoch auch für die Analyse von gradierten und Mehrlagenschichten im Querschliff, sobald die Dickenmaße der einzelnen Lagen oder deren Gradie-rungsdistanzen größer sind als die größte räumliche Ausdehnung des zur charakteristischen und/oder Fluoreszenzröntgenstrahlung angeregten Stoffvolumens.
ANMERKUNG Dieses Verfahren kann auch zur Analyse von Rohstoffen angewendet werden.
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